Capteur de position inductif

Capteur de position inductif utilisant des microbobines déposées sur un circuit intégré CMOS

Dans ce projet, la problématique à laquelle a dû faire face le MNT-LEMI est de développer un microsystème (mesure inductive de la position) à faibles coûts, très compact, basse consommation mais de haute précision, en collaboration avec la société POSIC SA.
 
La solution trouvée a été de développer un circuit intégré mixte analogique-numérique (>100’000 transistors) contenant un mini ordinateur dans une technologie submicronique.

Les résultats de ce développement ont été très concluants : Le MNT-LEMI a réalisé un microsystème simple, robuste, bon marché, à très faible consommation d’énergie, mais surtout un microsystème intelligent, parmi les plus petits au monde pour la mesure précise de position. La précision est telle qu'elle en résulte meilleure que le millionième de mètre.